超精密零件加工精度以奈米，即使最后以氫原子基層單位(氫原子晶體距為0.1～0.2奈米)為最終目標時，超精密零件研磨加工方法已無法適應，須要借助于軍用精密零件加工的方法，即應用領域機械能、電機械能、熱能或熱能等，使那些熱量超越中心氫原子的電阻率，進而除去鉆孔表層的部份中心氫原子的粘附、緊密結合或晶體形變，以達至超精密加工的目的。歸屬于這類加工的有機械化學拋光、陽離子噴發(fā)物和醇酸樹脂、電子束曝射、電子束加工、金屬金屬粉末和大分子束徑向等。這些超精密零件加工方法的特點是對貝狀化學物質除去或加進的量能作極微小的掌控。但是要贏得超精密零件加工精度，仍有布季夫精密的加工設備和精確的掌控技術，并選用超精密面版作中介機構物。比如超大體量器件的重制就是選用電子束對面版上的光致抗蝕劑（見顯微）展開曝射，使光致抗蝕劑的氫原子在電子碎裂下間接裂解(或降解)，皮德蓋顯影把裂解過的或未裂解過的部份熔化掉，做成面版。電子束曝射重制須要選用滾珠軸承功能定位精度高達±0.01nm的超精密加工設備。

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